本システムは、φ５０ｍｍのサンプルを４本の手動マニピュレーターを用い、４．５Ｋ〜３２５Ｋまでの広い温度範囲に渡って物性測定をする為の装置です。 本システムはサンプル冷却に連続フロー式冷凍器を採用することにより冷凍器起因の振動がなくデーターの信頼性を損ないません。
極低温プローバー
２インチプローバシステム
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特徴：
本システムは、φ５０ｍｍのサンプルを４本の手動マニピュレーターを用い、４．５Ｋ〜３２５Ｋまでの広い温度範囲に渡って物性測定をする為の装置です。 本システムはサンプル冷却に連続フロー式冷凍器を採用することにより冷凍器起因の振動がなくデーターの信頼性を損ないません。 |
基本仕様：
| ＊ 測定サンプル | ： | ウェハー、チップ |
| ＊ 測定用プローブ | ： | ＤＣプローブ ４式 |
| ＊ 測定用フィードスルー | ： | トライアキシャルコネクター ４式 |
| ＊ プローブ移動量 | ： | Ｘ軸 ５０ｍｍ （チャンバー中心方向） |
| ： | Ｙ軸 ３７ｍｍ （水平方向） | |
| ： | Ｚ軸 １０ｍｍ （垂直方向） | |
| ＊ 温度コントロール範囲 | ： | ４．５Ｋ〜３２５Ｋ （コールドステージ温度） |
| ＊ 温度安定性 | ： | ±０．１Ｋ |
| ＊ 冷却時間 | ： | １０Ｋまで２５分 |
| ＊ 観察装置 | ： | 実体顕微鏡 又は ズームマイクロスコープ付ＣＣＤカメラシステム |
| ＊ 高温オプション | ： | ４．５K〜４５０K |
| ＊ 高周波領域 | ： | ４０ＧＨｚ、５０ＧＨｚ、６０ＧＨｚ |